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平面度測量儀常見的幾種測量方式

更新時(shí)間:2025-07-02點(diǎn)擊次數(shù):50

平面度,是屬于形位公差中的一種,指物體表面具有的宏觀凹凸高度相對(duì)理想平面的偏差。

平面度誤差是將被測實(shí)際表面與理想平面進(jìn)行比較,兩者之間的線值距離即為平面度誤差值;或通過測量實(shí)際表面上若干點(diǎn)的相對(duì)高度差,再換算以線值表示的平面度誤差值。

在傳統(tǒng)的檢測方法中,平面度的測量通常有:塞規(guī)/塞尺測量法、液平面法、激光平面干涉儀測量法(平晶干涉法)、水平儀/數(shù)字水平儀測量法、以及打表測量法。

塞尺測量法  

塞尺主要用于間隙間距的測量,對(duì)平面度的測量只能進(jìn)行粗測。塞尺使用前必須先清除塞尺和工件上的污垢與灰塵。使用時(shí)可用一片或數(shù)片重疊插入間隙,以稍感拖滯為宜。測量時(shí)動(dòng)作要輕,不允許硬插。也不允許測量溫度較高的零件。目前很多工廠仍使用該方法進(jìn)行檢測。由于其精度不高,常規(guī)最薄塞尺為10um,檢測效率較低,結(jié)果不夠全面,只能檢測零件邊緣。

液平面法

液平面法是用液平面作為測量基準(zhǔn)面,液平面由 “連通罐"內(nèi)的液面構(gòu)成,然后用傳感器進(jìn)行測量?;谶B通器工作原理,適合測量連續(xù)或不連續(xù)的大平面的平面度,但測量時(shí)間長,且對(duì)溫度敏感,僅適用于測量精度較低的平面。

激光平面干涉儀測量法

典型的用法是平晶干涉法,用光學(xué)平晶的工作面體現(xiàn)理想平面,直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值,但主要于測量光潔的小平面的測量,如千分頭測量面,量規(guī)的工作面,光學(xué)透鏡。激光干涉儀現(xiàn)因其體積小,重量輕、無需外接電源的特點(diǎn)被廣泛地應(yīng)用在光學(xué)加工企業(yè),光學(xué)檢測機(jī)構(gòu)以及其他要進(jìn)行光學(xué)表面檢測的場合。


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